電子制造業(yè)萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間的特點(diǎn)
潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設計或規范受控,另外該類(lèi)潔凈室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過(guò)于干燥的廠(chǎng)房?jì)葮O易產(chǎn)生靜電,造成CMOS集成損壞。一般來(lái)說(shuō),電子廠(chǎng)房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊無(wú)塵車(chē)間有相關(guān)溫濕度規定)。這時(shí)可有效地消除靜電,并使人也感覺(jué)舒適。芯片生產(chǎn)車(chē)間、集成電路無(wú)塵室和磁盤(pán)制造車(chē)間是屬于電子制造行業(yè)潔凈車(chē)間的重要組成部分,由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過(guò)程中對室內空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象,同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規定。
●電子制造廠(chǎng)萬(wàn)級潔凈車(chē)間的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)
●電子制造廠(chǎng)潔凈室垂直流潔凈室滿(mǎn)布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
●電子制造廠(chǎng)潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa
● 補償室內排風(fēng)量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
● 保證供給潔凈室內每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調系統加熱器,應設置新風(fēng),超溫斷電保護,若采用點(diǎn)加濕時(shí)應設置無(wú)水保護,寒冷地區,新風(fēng)系統應設置防凍保護措施。無(wú)塵室的送風(fēng)量?! ?/span>
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